Термічне осадження

Термическая стабильность и эксплуатационная надежность наноразмерных металлических пленок на диэлектриках и проводниках

Термічна стабільність та експлуатаційна надійність нанорозмірних металевих плівок на діелектриках та напівпровідниках

Разработан комплексный научный подход для учета «перекрестных эффектов» влияния физико-технологических параметров термического осаждения на структуру и свойства наноразмерных металлических пленок Cu-Sn, Cu-Au, Cu-Mn, Cu-Sn-Mn, Al-Mn-Cr, Ni-Al, Ni-Au, Ti-Ag, Fe-Pt и т.д. Установлены общие закономерности протекания диффузионных процессов в результате последующего термического отжига в сверхвысоком вакууме, кислород- и водородсодержащих атмосферах, ионно-плазменной и лазерной обработки.