Іонно-плазмове осадження покриттів

Разработка и исследование газоразрядного оборудования для импульсного электронно-лучевого испарения и ионно-плазменного осаждения наноструктурированных покрытий

Макет газорозрядної електронної гармати з блоком керування параметрами електронного пучка

Проведен анализ свойств высоковольтного тлеющего разряда с холодным катодом и анодной плазмой, направленный на изучение возможностей использования газоразрядных источников электронов при разработке технологического оборудования для импульсного электронно-лучевого испарения и ионно-плазменного осаждения покрытий.