Нанопористий кремній

Разработка технологии получения и исследование особенностей применения пористого и нанопористого кремния для создания высокоэффективных наноструктурных фотоэлектрических преобразователей

Технологічне обладнання

Разработан и реализован технологию формирования нанопористого кремния. Разработаны базовые принципы и критерии конструктивно-технологических параметров фотоэлектрических преобразователей комбинированного типа с инверсионным каналом (величина встроенного положительного заряда в диэлектрике, плотности поверхностных состояний на границе диэлектрик-полупроводник, глубины электронно-дырочного перехода, уровня легирования областей базы и емиттера).