Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п’єзоелектричними властивостями для організації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірок.

1. Номер державної реєстрації - 0110U002462
2. Науковий керівник - академік НАН України, д.т.н., професор, Якименко Юрій Іванович,
3. Суть розробки, основні результати

Розроблено технологічний маршрут отримання низькотемпературного синтезу орієнтованих плівок нітриду алюмінія для створення функціональних електронних комірок. Проведені дослiдження структури та фізико-хімічних характеристик тонких плівок нітрида алюмінія (A1N) для створення функціональних МЕМС-структур. Уперше відпрацьовані технологічні режими синтезу орієнтованих плівок нітриду алюмінія методом магнетронного реактивного розпилення на по­стійному струмі з застосуванням аміака та суміші азота і аргона, що дозволило активізувати синтез нітридних сполук. Виконані дослідження впливу режимів вакуумного співрозпилення на хімічний склад, структурні, електричні, оптичні властивості орієнтованих плівок нітриду алюмінія на підкладках кремнія. Виконано аналіз основних технологічних методів поліпшення електронно-фізичних властивостей плівок для отримання кристалічної досконалості шарів A1N, якісної поверхні  та хороших транспортних властивостей. Встановлено, що для синтеза плівок нітрида алюмінія необхідно попереднє відкачування вакуумної установки до тиску залишкових газів 7•10-5 Па, подача ВЧ-зміщення на підкладку (50 В, 10 МГц) і потужність розряду 300 і 500Вт відповідно при температурі підкладки 100  і  25°С. Отримані тонкі алюмінієві плівки нітриду методом реактивного високочастотного магнетронного розпиленням на різноманітних підкладках:SiO2, poly-Al(111), poly-Pt(111), Si(100),  Si(111). Розроблена топологія електродів комірки та технології їх нанесення на плівки нітриду алюмінія для організації функціональних МЕМС.

ДолученняРозмір
PDF icon 2336-p.pdf133.36 КБ