НСП

Исследование, моделирование и разработка запоминающих элементов и устройств с разрушающим и неразрушающим считыванием на наноразмерных сегнетоэлектрических пленках

Обладнання для осадження НСП

Разработана новая технология осаждения наноразмерных (20-50 нм) сегнетоэлектрических пленок (НСП) для энергонезависимых запоминающих элементов (ЗЭ), в том числе метод ВЧ магнетронного распыления с замкнутым дрейфом высокоэнергетических вторичных электронов. Обработаны метод и средства ВЧ плазмового распыления монолитных керамических мишеней на базе соединений оксидов циркония, титана, свинца в направлении уменьшения толщины пленки; разработана технология ультразвуковой обработки НСП, которая обеспечивает увеличение реориентационной поляризации и уменьшение напряжения переполяризации.