наноструктурований п’єзоелектричний шар

Разработка беспроводной системы дистанционного мониторинга показателей физического состояния личного состава воинских и специальных подразделений.

Создана унифицированная МЭМС технология изготовления сенсоров
акустических волн, разработаны дополнительное технологическое оборудование и оснастка.
Основное отличие предлагаемой технологии - унификация специальных приемов и
технологических режимов изготовления базового конструктива, чувствительных и
пьезоэлектрических слоев различных по назначению сенсоров. Разработаны и исследованы
экспериментальные образцы сенсоров биопотенциалов для ЭКГ и ЭЭГ, ультрафиолетового
излучения, ускорения (акселерометр) и концентрации кислорода в крови и CO2.