Разработка технологии получения нанокристаллических пленок кремния на основе аморфного сплава Si-Sn-C и методов контроля p-n-перехода и структуры
Разработана и реализована технологическая схема низкотемпературного синтеза нанокристаллических пленок кремния. Разработан метод термического вакуумного напыления в потоке высокоэнергетических электронов. Создана теоретическая модель структуры тонкопленочного фотоэлектрического преобразователя на основе нанокристаллического кремния (nc-Si). Модель учитывает трехмерное распределение потенциальных барьеров.