Нанокристалічні кремнієві плівки

Разработка 2-х координатного устройства определения угловых координат Солнца на наноструктурированных пленках кремния для космических аппаратов

Разработаны конструкции щелевых 2-х координатных устройств определения угловых координат Солнца на монокристаллическом кремнии и на наноструктурированных пленках кремния. Расчеты конструктивных параметров сенсоров приведены с учётом линеаризации выходной характеристики на основе факторов изменения падающей мощности при увеличении углов падения светового луча и зависимости смещения светового пятна от угла падения.

Физико-технические основы конструктивно-технологических решений солнечных элементов на нанокристаллических кремниевых пленках с использованием редкоземельных элементов и гетероструктурах А3В5

Комплексная оптимизация технологии изготовления радиационно-стойких солнечных элементов на гетероструктурах А3В5, на монокристаллическом кремнии и на нанокристаллических кремниевых пленках, легированных редкоземельными элементами, сформированных методом синтеза кремниевых нанокристаллических тонкопленочных слоев. Разработаны и практически реализованы технологические операции изготовления высокоэффективных радиационно-стойких кремниевых нанокристаллических тонкопленочных и гетероструктурных А3В5 солнечных элементов.

Разработка технологии получения нанокристаллических пленок кремния на основе аморфного сплава Si-Sn-C и методов контроля p-n-перехода и структуры

Разработана и реализована технологическая схема низкотемпературного синтеза нанокристаллических пленок кремния. Разработан метод термического вакуумного напыления в потоке высокоэнергетических электронов. Создана теоретическая модель структуры тонкопленочного фотоэлектрического преобразователя на основе нанокристаллического кремния (nc-Si). Модель учитывает трехмерное распределение потенциальных барьеров.