Разработка и исследование газоразрядного оборудования для импульсного электронно-лучевого испарения и ионно-плазменного осаждения наноструктурированных покрытий
Проведен анализ свойств высоковольтного тлеющего разряда с холодным катодом и анодной плазмой, направленный на изучение возможностей использования газоразрядных источников электронов при разработке технологического оборудования для импульсного электронно-лучевого испарения и ионно-плазменного осаждения покрытий.