Іонно-плазмове осадження покриттів

Elaboration and investigation of gas discharge equipment for electron impulse beam evaporation and ion-plasma deposition of nanostructurized coatings

Макет газорозрядної електронної гармати з блоком керування параметрами електронного пучка

Analyze of high voltage glow discharge with cold cathode and anode plasma, oriented to investi¬ga¬ti¬on the possibilities of using the high voltage glow discharge electron sources for elaboration the technological equipment for impulse electron beam evaporation and ion-plasma deposition of coatings have been provided.