Розробка та дослідження газорозрядного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттів
Проведений аналіз властивостей високовольтного тліючого розряду з холодним катодом та анодною плазмою, направлений на визначення можливостей використання газорозрядних джерел електронів в розробці технологічного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів.