Якименко Ю.И.

Определены алгоритмический и технологический подходы к технологически-конструктивной и алгоритмико-программной интеграции комплекса навигационно-визуальных модулей и датчиков. Выполнено патентно-информационное исследование по ряду технических и технологических решений. Разработана физико-математическая модель решения навигационных задач со структурой локальной навигационной позиционной системы. Разработаны оптимальные конструктивные параметры и режимы работы роботизированных платформ для локальной навигационной системы.

Разработаны конструкции щелевых 2-х координатных устройств определения угловых координат Солнца на монокристаллическом кремнии и на наноструктурированных пленках кремния. Расчеты конструктивных параметров сенсоров приведены с учётом линеаризации выходной характеристики на основе факторов изменения падающей мощности при увеличении углов падения светового луча и зависимости смещения светового пятна от угла падения.

Комплексная оптимизация технологии изготовления радиационно-стойких солнечных элементов на гетероструктурах А3В5, на монокристаллическом кремнии и на нанокристаллических кремниевых пленках, легированных редкоземельными элементами, сформированных методом синтеза кремниевых нанокристаллических тонкопленочных слоев. Разработаны и практически реализованы технологические операции изготовления высокоэффективных радиационно-стойких кремниевых нанокристаллических тонкопленочных и гетероструктурных А3В5 солнечных элементов.

Разработан и реализован технологию формирования нанопористого кремния. Разработаны базовые принципы и критерии конструктивно-технологических параметров фотоэлектрических преобразователей комбинированного типа с инверсионным каналом (величина встроенного положительного заряда в диэлектрике, плотности поверхностных состояний на границе диэлектрик-полупроводник, глубины электронно-дырочного перехода, уровня легирования областей базы и емиттера).

Разработана и реализована технологическая схема низкотемпературного синтеза нанокристаллических пленок кремния. Разработан метод термического вакуумного напыления в потоке высокоэнергетических электронов. Создана теоретическая модель структуры тонкопленочного фотоэлектрического преобразователя на основе нанокристаллического кремния (nc-Si). Модель учитывает трехмерное распределение потенциальных барьеров.

Проведены исследования структуры и физико-химических характеристик тонких пленок нитрида алюминия (AlN) для создания функциональных МЭМС-структур. Впервые отработаны технологические режимы синтеза ориентированных пленок нитрида алюминия методом магнетронного реактивного распыления на постоянном токе с применением аммиака и смеси азота и аргона, что позволило активизировать синтез нитридных соединений.