МЕМС резонатор

Розроблення бездротової системи дистанційного моніторингу показників фізичного стану особового складу військових та спеціальних підрозділів

Розроблення бездротової системи дистанційного моніторингу показників фізичного стану особового складу військових та спеціальних підрозділів

Створена уніфікована МЕМС технологія виготовлення сенсорів акустичних хвиль, розроблено додаткове технологічне обладнання та оснастка. Основна відмінність запропонованої технології – уніфікація спеціальних прийомів та технологічних режимів виготовлення базового конструктиву, чутливих та п’єзоелектричних шарів різних за призначенням сенсорів. Розроблені та досліджені експериментальні зразки сенсорів біопотенціалів для ЕКГ та ЕЕГ, ультрафіолетового випромінювання, прискорення (акселерометра) та концентрації кисню у крові і CO2.