Дослідження розрядів низького тиску для розробки обладнання та технології імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттів
Отримання різних покриттів електронно-променевим випаровуванням у вакуумі є одним із найбільш поширених методів. Проте використання стаціонарного нагрівання при випаровуванні утруднює отримання покриттів із багатокомпонентних матеріалів, а також хімічних сполук, випаровування яких при високих температурах супроводжується термічною дисоціацією.