Денбновецький С.В.

Проведений аналіз властивостей високовольтного тліючого розряду з холодним катодом та анодною плазмою, направлений на визначення можливостей використання газорозрядних джерел електронів в розробці технологічного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів.

Отримання різних покриттів електронно-променевим випаровуванням у вакуумі є одним із найбільш поширених методів. Проте використання стаціонарного нагрівання при випаровуванні утруднює отримання покриттів із багатокомпонентних матеріалів, а також хімічних сполук, випаровування яких при високих температурах супроводжується термічною дисоціацією.