Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п’єзоелектричними властивостями для організації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірок.
Розроблено технологічний маршрут отримання низькотемпературного синтезу орієнтованих плівок нітриду алюмінія для створення функціональних електронних комірок. Проведені дослiдження структури та фізико-хімічних характеристик тонких плівок нітрида алюмінія (A1N) для створення функціональних МЕМС-структур. Уперше відпрацьовані технологічні режими синтезу орієнтованих плівок нітриду алюмінія методом магнетронного реактивного розпилення на постійному струмі з застосуванням аміака та суміші азота і аргона, що дозволило активізувати синтез нітридних сполук.