Разработка технологии получения ориентированных пленок нитрида алюминия с пьезоэлектрическими свойствами для организации функциональных МЭМС-структур в составе наноэлектронных ячеек.

Проведены исследования структуры и физико-химических характеристик тонких пленок нитрида алюминия (AlN) для создания функциональных МЭМС-структур. Впервые отработаны технологические режимы синтеза ориентированных пленок нитрида алюминия методом магнетронного реактивного распыления на постоянном токе с применением аммиака и смеси азота и аргона, что позволило активизировать синтез нитридных соединений. Выполнены исследования влияния режимов вакуумного сораспыления на химический состав, структурные, электрические, оптические свойства ориентированных пленок нитрида алюминия на подложках кремния. Выполнен анализ основных технологических методов улучшения электронно-физических свойств пленок для получения кристаллически совершенных слоев AlN, качественной поверхности и хороших транспортных свойств. Установлено, что для синтеза пленок нитрида алюминия необходимо предварительная откачка вакуумной установки до давления остаточных газов 7•10^-5 Па, подача ВЧ-смещения на подложку (50В, 10 МГц) и мощность разряда 300 и 500Вт соответственно при температуре подложки 100 и 25°С. Получены тонкие пленки нитрида алюминия методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления на различных подложках: SiO2, poly-Al(111), poly-Pt(111), Si(100), Si(111). Разработана топология электродов ячейки и технологии их нанесения на пленки нитрида алюминия для организации функциональных МЭМС.